2014年3月24日に薬事承認を取得し、ITEM2014で初公開となったサイバーナイフシステムの最新シリーズが「サイバーナイフM6シリーズ」。海外では既に約10台導入されている。
サイバーナイフM6 FIMシステムは、マルチリーフコリメータ（MLC）をサイバーナイフに初めて搭載した。このInCiseTMマルチリーフコリメータに加え、従来からの固定コリメータ、Iris可変コリメータの計3種類のコリメータが利用可能。マルチリーフコリメータ非搭載のサイバーナイフM6 FI+システムもあり、FIMシステムとFI+システムの2つの仕様が、治療目的に合わせ用意されてい
る。
また、新たなトラッキングモードXsight Spine Proneを搭載。腹臥位での治療が可能となり、腹部の正常組織を守りながら背部に位置する病変への照射が可能となった。MLCを組み合わせることで、大きな腫瘍の治療にもサイバーナイフならではのトラッキング技術で正確な治療が可能となる。
